半導体製造装置の保守や関連工事を実施
Service
半導体製造装置の保守や配管工事、電気設備工事などを幅広く手がけ、装置の安定した稼働を支えています。保守業務では、装置の設置から立ち上げ、さらには定期的な点検や消耗品の交換に対応し、異常発生時には調査や修理対応なども行っています。また半導体製造装置を搬入し、稼働させるための工事として、配管工事や電気配線工事を手がけ、予備パーツ等の運搬も行っています。
工場内でのサービス提供内容
①定期的なメンテナンス・トラブルシューティング
②分析/解析(測定器の技術サポート)
③装置の改善/改良
④装置の移設・立ち上げ
※装置の導入や修理・保守・改善を一貫して請け負うことが可能ですので、お気軽にご相談ください。
真空排気配管工事
01
半導体製造装置~ドライポンプ~除害装置間のステンレス鋼管(SUS)配管工事を行います。
事前に採寸し、配管の中を通るガスの特性などをベースにO-Ringの選定や配管のヒーティングなどをご提案します。
ガス供給配管工事
02
半導体製造装置に供給されるガス配管(小径管)を施工します。現地で溶接し、配管をつないでいきます。併せて配管施工後の検査も実施します。